多孔質材(セラミック)の均一な穴構造を利用した、計測・加工用のサンプルステージです。特に、電子基板等の薄い材質の固定に大きな効力を発します。また多孔質材は消耗品のため、レーザ加工等での劣化が進んだ時には本体はそのままで、吸着部の交換のみで元通りになります。 シグマサイバーテック(株)
● 多孔質な面吸着(セラミックス)により薄いサンプルの吸着が可能。 ● 薄いシート・ガラス基板・柔らかいワーク等の吸着、固定に最適。 ● 裏面吸着が可能な為、吸着ステージ本体を固定することが出来ます。 ● 表面形状固定機等のサンプル固定ステージとして最適なステージです。 ● 標準仕様外の寸法も対応可能です。 薄質ワーク用多孔質均一吸着ステージ