レーザー微細加工機(ガルバノ走査+XYステージ ハイブリッド方式)

ガルバノ走査+XYステージ
ハイブリッド方式
レーザー微細加工機
サンインスツルメント(株)

● 加工に最適な波長(IR,可視光,UV,DUV)が選択できます。また用途によっては2~4波長切替/同時発振タイプも可能です。
● 高速加工で生産性向上
● XYステージ大面積加工
● 精密・高精度加工
● 簡単操作ソフト
● 同軸観察光学系
● 自動アライメント
● トップハット光学系(オプション)
● 量産ローダ・アンローダ
レーザー微細加工機(ガルバノ走査+XYステージ ハイブリッド方式)
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